Компания Nikon объявила о намерении начать продажи своего нового ArF сканера - NSR-S322F – в декабре.

NSR-S322F был разработан с целью удовлетворения запросов клиентов в плане оптимизации производительности устройства. Новая модель использует преимущества уже зарекомендовавшей себя платформы Streamlign, применявшейся в ранних поколениях NSR-S320F для получения повышенной точности и высокой производительности для наиболее развитых dry 193 нм приложений.

NSR-S322F – наиболее совершенный (в том числе в плане производительности) dry ArF сканер для масштабных производств. S322F построен на платформе Streamlign, благодаря чему отличается более быстрой инсталляцией и продуктивностью.

Основные параметры платформы Streamlign:
• Cистема управления Bird's Eye: усовершенствованная система с интерферометром, предоставляющая повышенную точность;
гибридная система, использующая кодировщики и интерферометры для точного измерения и устранения чувствительности к флуктуациям воздушных масс. Таким образом, достигается точность совмещения.
•    Stream Alignment: технология измерения, повышающая производительность.
Благодаря увеличению количества FIA микроскопов до пяти (Five-Eye FIA) измерения юстировки выполняются намного быстрее. Five-Eye FIA повышает производительность даже в случае многоточечного измерения. NSR-S322F в целом увеличивает производительность примерно на 5% в сравнение с современными аналогами.
•    Модульная структура повышает удобство поддержки системы.
Благодаря модульному дизайну существенно снижается время установки на стороне клиента, а также упрощается замена отдельных элементов. Это, в свою очередь, повышает удобство сопровождения системы.